Pompa vakum bertekanan negatif bekerja dengan mengekstraksi molekul gas secara mekanis atau fisik dari ruang tertutup, menciptakan lingkungan bertekanan negatif di bawah tekanan atmosfer di dalam ruang pompa. Prinsip intinya adalah-rotasi berkecepatan tinggi atau gerakan bolak-balik dari bagian yang bergerak seperti rotor, bilah, atau vortisitas, yang menarik gas masuk melalui saluran masuk, memampatkannya, dan kemudian membuangnya melalui saluran keluar, sehingga menghasilkan lingkungan vakum. Proses spesifiknya dapat dibagi menjadi tiga langkah berikut:
Tahap Intake: Gas memasuki ruang pompa melalui port intake (misalnya diameter 40mm). Pada saat ini, rotor atau bilah bergerak, meningkatkan volume ruang dan mengurangi tekanan internal.
Tahap Kompresi: Saat bagian yang bergerak terus berputar (misalnya, 1470 RPM), gas dikompresi hingga tekanan pelepasan (misalnya, tekanan uap air 32 mbar).
Tahap Pelepasan: Gas terkompresi dibuang melalui katup pelepasan. Secara bersamaan, sistem pelumasan oli (misalnya, tipe oli UL19) memastikan penyegelan dan pembuangan panas (suhu pengoperasian 12-40 derajat).